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真空系统中的流量计（更准确称为气体流量计或质量流量计）是用来测量在低压（真空）条件下流过管道的气体质量流量的仪器。这与测量体积流量的正压流量计不同，真空应用的流量测量更具挑战性。
热式气体质量流量计是利用热扩散原理测量气体流量的仪表。传感器由两个基准级热电阻(RTD)组成。一个是速度传感器RH，一个是测量气体温度变化的温度传感器 RMG。当这两个RTD置于被测气体中时，其中传感器RH被加热，另一个传感器RMG 用于感应被测气体温度。随着气体流速的增加，气流带走更多热量，传感器RH的温度下降。
